四点探针电阻测量系统｜晶圆、导电薄膜与Mapping
四点探针测量系统怎么选？先看样品尺寸、方块电阻范围和多点测量需求
晶圆测量可比较 12 英寸与 8 英寸平台；玻璃、导电薄膜和面板样品可比较薄膜平台；太阳能电池可考虑专用机型；研发单点测试可比较台式和手动系统。选型时先确认样品能否接触探针，再比较平台尺寸、探头配置和数据分析方式。
四点探针常用于测量方块电阻（Ω/□）；计算电阻率（Ω·cm）还需结合样品厚度、几何条件和适用修正方式。如需多点分布图（Mapping），还应确认测点设置、平台移动方式和软件配置。
按样品与测量流程比较机型
可直接比较适用样品、测量尺寸、操作方式和 Mapping 功能；点击型号即可查看产品介绍。
| 型号 | 适用样品 | 测量尺寸（mm） | 操作方式 | Mapping |
|---|---|---|---|---|
| CMT-SR5000 | 晶圆 | Ø300（12 英寸） | 半自动 | ✓ |
| CMT-SR2000N | 晶圆 | Ø200（8 英寸） | 半自动 | ✓ |
| CMT-SR3000 系列 | 玻璃、导电薄膜 ITO/TCO、面板 | 500 × 500（S） 620 × 720（M） 1100 × 1300（L） | 半自动 | ✓ |
| CMT-SR2000N-PV | 太阳能电池 | 156 × 156 | 半自动 | ✓ |
| CMT-SR1000N | 晶圆与小尺寸样品 | Ø100（4 英寸） | 半自动 | ✓ |
| CMT-100MP | 导电薄膜、玻璃 研发材料 | 220 × 220 | 手动 | — |
| CMT-100S | 晶圆、导电薄膜 研发材料 | 190 × 190 | 手动 | — |
Ø 表示晶圆直径；长 × 宽表示方形样品或平台的测量尺寸。✓ 表示可搭配 Mapping 分析。
区分方块电阻、电阻率与厚度换算
方块电阻通常以 Ω/□ 表示，用于比较导电层的电性；电阻率以 Ω·cm 表示，需根据材料和样品几何条件计算。如需通过方块电阻估算薄膜厚度，必须已知材料电阻率并确认导电层符合换算条件；多层导电结构或导电基材不能直接按单层薄膜厚度换算。
Mapping 用于呈现不同测点的数值分布。选购时需确认哪些操作由设备执行，哪些需要人工移动样品，以及软件能否提供所需图表和报告。
询价前，请提供以下资料
- 样品材质、长宽或晶圆直径，以及厚度和导电层结构。
- 预估方块电阻范围，以及需要方块电阻、电阻率还是厚度估算数据。
- 是否可接触测量，以及探针间距、接触力或测点限制。
- 单点或多点测量、每批样品数量，以及图表、报告和数据导出需求。
支点科技可协助讨论选型、探头配置、设备展示并提供售后技术支持。实际供货配置、展示机型、库存、交期和维修服务，请根据产品型号及需求确认。
支点科技代理的 AiT CMT-SR5000 是一套面向 12 英寸晶圆的四探针电性测量系统，搭配英国 Jandel 高稳定性探头，可用于测量表面（片）电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm），适用于半导体晶圆、扩散与掺杂制程、薄膜沉积、导电薄膜、太阳能电池，以及材料研发和制程质量管理等应用。系统可依晶圆尺寸、测量点位、预期片电阻与电阻率范围、Mapping 均匀性分析、数据处理方式及现有品管流程评估配置；多功能 Mapping 软件可呈现晶圆不同位置的测量结果，协助分析电性分布与均匀性，并在具备适用材料参数及换算条件时，由测得的电性数据进一步评估厚度。实际可测范围、探头与平台配置及数据输出方式，应依据样品、测量目的和制程需求确认。
支点科技代理的 AiT CMT-SR2000N-PV 是一套用于 Solar PV 电池片的半自动四探针测量系统，适用于 156 × 156 mm 太阳能电池样品。系统搭配英国 Jandel 高稳定性探头，可测量表面（片）电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm），支持太阳能电池及相关材料的电性检测。多功能 Mapping 软件提供多种图形显示与分析方式，便于查看样品不同测点的测量结果、分布和均匀性，作为制程评估与质量管理的参考。系统配置可依样品尺寸、测量位置、预期电性范围、分析需求及现有品管流程评估；实际量程、测点规划、探头配置和数据输出方式，需按样品与检测目的确认。
AiT CMT-SR3000 系列导电薄膜四探针测量系统专为面板、触控及材料产业设计，采用半自动大型测量平台，并可搭配英国 JANDEL 高稳定性探针，发挥 CMT-SR3000 系列在表面电阻（Ω/□）测量上的精准表现。系统提供多功能 Mapping 分析软件，协助进行材料均匀性分析；测量平台尺寸亦可依需求客制，以符合不同样品与测试条件。
支点科技代理的 AiT 4 英寸晶圆四探针测量系统，可搭配英国 JANDEL 高稳定性探头，充分发挥 CMT-SR1000N 在表面电阻（Ω/□）和体积电阻率（Ω·cm）测量方面的高精度性能。多功能 Mapping 软件可辅助分析电阻均匀性，也可根据电阻计算厚度数据，为测量与分析提供更多信息。
支点代理的 AiT CMT-SR2000N 半自动 8 英寸晶圆四探针测量系统，搭配英国 JANDEL 高稳定性探头，可精准测量表面电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm）。多功能 Mapping 软件可分析电阻均匀性，并根据电阻数据计算厚度，为测量与分析提供更完整的依据。
CMT-100MP 是手持式四探针表面电阻测量设备，可用于薄膜、玻璃、导电材料、ITO / TCO、太阳能材料、晶圆切片、镀膜样品及研发材料的表面电阻、方块电阻或电阻率快速检测。相较于平台式四探针系统，CMT-100MP 更适合现场快速确认、样品初筛、来料检验，以及不便放置于平台的大型样品或局部区域测量。实际选型仍需根据样品尺寸、表面状态、电阻范围、探针接触条件及检测目的确认。
支点科技代理的AiT入门型手动四点探针测量系统，搭配Signatone探头，可准确测量表面电阻（ohm/sq）与体积电阻率（ohm·cm）。主机与探针台一体化设计，节省测量空间；主机内部采用模块插槽设计，维护更方便。是一套兼具高精度、高稳定性与高性价比的标准四点探针测量系统。