半自动导电薄膜四探针测量系统｜FPD／玻璃／薄膜应用｜AiT CMT-SR3000 系列

支点科技代理的 AiT CMT-SR5000 是一套面向 12 英寸晶圆的四探针电性测量系统，搭配英国 Jandel 高稳定性探头，可用于测量表面（片）电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm），适用于半导体晶圆、扩散与掺杂制程、薄膜沉积、导电薄膜、太阳能电池，以及材料研发和制程质量管理等应用。系统可依晶圆尺寸、测量点位、预期片电阻与电阻率范围、Mapping 均匀性分析、数据处理方式及现有品管流程评估配置；多功能 Mapping 软件可呈现晶圆不同位置的测量结果，协助分析电性分布与均匀性，并在具备适用材料参数及换算条件时，由测得的电性数据进一步评估厚度。实际可测范围、探头与平台配置及数据输出方式，应依据样品、测量目的和制程需求确认。

支点代理的 AiT CMT-SR2000N 半自动 8 英寸晶圆四探针测量系统，搭配英国 JANDEL 高稳定性探头，可精准测量表面电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm）。多功能 Mapping 软件可分析电阻均匀性，并根据电阻数据计算厚度，为测量与分析提供更完整的依据。

支点科技代理的 AiT 4 英寸晶圆四探针测量系统，可搭配英国 JANDEL 高稳定性探头，充分发挥 CMT-SR1000N 在表面电阻（Ω/□）和体积电阻率（Ω·cm）测量方面的高精度性能。多功能 Mapping 软件可辅助分析电阻均匀性，也可根据电阻计算厚度数据，为测量与分析提供更多信息。