Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量
Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量 Delcom RD300 桌上型双面传感器与 300 × 300 mm 平台，适用于晶圆、ITO、TCO、玻璃、镜面及弧形材料的非接触式表面电阻测量

Delcom RD300｜桌上型非接触式表面电阻测量仪

Delcom RD300 桌上型非接触式表面电阻测量仪采用双面传感器与 300 × 300 mm 平台。可选择窄间距配置测量晶圆、ITO、TCO 等薄材料，或选择宽间距配置测量玻璃、镜面等厚材料和弧形材料。非接触测量表面电阻、表面电导率、体积电阻率、厚度及发射率可选量程为 0.005–100,000 ohm/sq探头可拆卸，可随时增加传感器、量程和平台支持一键操作、Delcom 软件、Python 库或 MODBUS/TCP

涡流式表面电阻测量的优势

  • 无损、非接触式测量
  • 可穿透绝缘层，测量下方导电层
  • 可实时测量移动中的样品
  • 适用于实时质量监控

降低产品与人工成本

  • 自动化测试，无需手动探针
  • 对 100% 材料进行无损检测
  • 及时发现并处理涂层问题
  • 避免对不合格材料继续加工

显示器与透明导电材料

  • 平板显示器与触控面板
  • 透明导电氧化物 TCO、ITO、TCM
  • LED、OLED、碳纳米管、石墨烯、银纳米线与金属网格

太阳能与半导体

  • 薄膜太阳能：非晶硅、CIGS、CdTe；硅晶及 III-V 族太阳能
  • 硅锭、晶圆特性检测，以及晶圆级/面板级封装（WLP/PLP，例如 FOPLP）

玻璃、汽车与精密光学

  • Low-E 软镀膜与硬镀膜玻璃、商用及住宅智能玻璃
  • 电致变色、热致变色、光致变色玻璃、PDLC、SPD 与可切换镜
  • 汽车玻璃、防眩光、除霜、加热、反射镜及航太应用
  • 精密光学、光学镀膜与光学元件

航太、能源与电子材料

  • 座舱罩、航太/国防光学、低可见度材料、航天器热控材料与太阳帆
  • 电池、储能与燃料电池
  • 印刷电子、导电墨水、柔性电路/PCB、天线、薄膜加热器、RFID、EMI/RF 屏蔽

转换加工与其他材料

  • 微波吸收材料、阻隔膜、金属化薄膜、装饰膜/纸、金属化标签、织物、技术纺织品与碳纤维
  • 反光与安全材料、医疗成像材料、高性能涂层、抗静电膜、导电纤维/粉末/涂料、镀层玻璃与聚合物、金属/有机导体及卷对卷涂布
  • 玻璃、晶圆、薄膜及各类导电材料

项目RD300 规格
型号RD300
可测量数据表面电阻（ohm/sq）；表面电导率（Siemens/Square）；体积电阻率（ohm-cm）；厚度（μm）；用户定义发射率（0–1）
传感器与平台平台 300 × 300 mm；任意位置可测范围 150 mm；传感器直径 32 mm；传感器间隙 0–10 mm；传感器测量直径 26 mm
量程选项×10：5–100,000 ohm/sq；×1：0.5–10,000 ohm/sq；÷10：0.05–1,000 ohm/sq；÷100：0.005–100 ohm/sq
样品要求最大厚度 10 mm；最小尺寸直径 32 mm；最大尺寸 300 mm
电源与温度输入 100–120/200–250 VAC；频率 60/50 Hz；功耗 1.0/0.5 A；工作温度 10–60°C
接口架构可通过 Delcom 软件、Python 库或 MODBUS/TCP 集成；请按实际配置确认接口

响应速度与显示频率

Delcom 每 30 ms 测量一次样品。硬件与软件协调处理，每 240 ms 显示 8 次测量的平均值。

准确度与校准

仪表依据美国国家标准与技术研究院（NIST）标准校准，准确度高于 99.9%。用户可在一分钟内完成校准设置。

分辨率与线性

四个量程均可显示各有效位数。Delcom 保证片电阻测量值与真实值的偏差不超过 3%；产品资料展示了对 10 项 NIST、VLSI 与 MSA 标准的测试结果。

重复性与温度补偿

在样品放置及环境（如温度）不变时，读数重复性可达 99.9%。涡流仪器的基准读数会随环境温度漂移；Delcom 桌上型传感器经过补偿，每摄氏度、每小时的漂移不超过总分辨率的 0.04%。

测量间隙对读数的影响

导电层在传感器间隙中的高度会影响读数。可使用平台、配置距离探测器进行自动补偿，或使用已知高度的材料校准仪器来处理此影响。


桌上型软件

  • Windows XP 或更高版本的 PC 应用程序
  • 可由用户自定义的 Python 库

可选测量单位

  • 表面电阻（ohm/sq）与表面电导率（Siemens/Square）
  • 体积电阻率（ohm-cm）与厚度（μm）
  • 用户定义的发射率，范围 0–1

常用测量与分析功能

  • 测量样品并读取数据，进行样品扫描与 Mapping
  • 导出并绘制数据，以验证表面均匀性
  • 设置上下限以判断样品是否合格
  • 读取、记录、手动扫描、Pass/Fail，并将数据导出为 CSV 或 Microsoft Excel 以供后续分析

多传感器与可调参数

  • 可为多点测量或不同阻抗范围配置多个探头
  • 使用标准片可在一分钟内完成校准
  • 可设置垂直偏移、归零（tare）偏移、增益偏移、Pass/Fail 阈值与警报，以及温度补偿系数

自动功能

  • 自动归零
  • 自动检测样品
  • 自动记录测量数据

扩展传感器量程

Delcom 传感器出货时可搭配任意两个相邻量程。可另购传感器，以覆盖完整量程：

  • ×10：5–100,000 ohm/sq
  • ×1：0.5–10,000 ohm/sq
  • ÷10：0.05–1,000 ohm/sq
  • ÷100：0.005–100 ohm/sq

使用 Python 库自定义界面

Delcom Python 库可用于构建自定义界面，让客户自行监控和控制传感器。

定制传感器间距与测量尺寸

仪器可按需求定制测量间距和尺寸组合。通常所需间距越大，传感器测量尺寸也越大。Delcom 可提供兼顾传感器尺寸与间距的配置；在满足由最厚样品决定的间距需求时，通常尽可能缩小传感器尺寸。


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  • 非接觸式量測表面電阻、表面導電率、體積電阻率、厚度和發射率
  • 量測範圍選項從 0.005 ohm/sq到 100,000 ohm/sq
  • 可拆卸探頭 – 隨時增加額外的感測器、量測範圍和平台
  • 透過簡單的一鍵操作、Delcom 軟體、Python 函式庫或 MODBUS/TCP 介面進行操作
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  • 非接触式量测表面电阻、表面导电率、体积电阻率、厚度和发射率
  • 量测范围选项从 0.005 ohm/sq 到 100,000 ohm/sq
  • 可拆卸探头 – 可随时增加额外的感测器、量测范围和平台
  • 介面透过简单的一键操作、Delcom 软体、Python 函式库或 MODBUS/TCP 进行操作
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    • 可选量程为 0.005–100,000 ohm/sq
    • 探头可拆卸，并可随时增加传感器、量程和平台
    • 支持一键操作、Delcom 软件、Python 库或 MODBUS/TCP
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