AiT CMT-SR5000｜12 英寸晶圆四探针片电阻与电阻率测量系统
支点科技代理的 AiT CMT-SR5000 是一套面向 12 英寸晶圆的四探针电性测量系统，搭配英国 Jandel 高稳定性探头，可用于测量表面（片）电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm），适用于半导体晶圆、扩散与掺杂制程、薄膜沉积、导电薄膜、太阳能电池，以及材料研发和制程质量管理等应用。系统可依晶圆尺寸、测量点位、预期片电阻与电阻率范围、Mapping 均匀性分析、数据处理方式及现有品管流程评估配置；多功能 Mapping 软件可呈现晶圆不同位置的测量结果，协助分析电性分布与均匀性，并在具备适用材料参数及换算条件时，由测得的电性数据进一步评估厚度。实际可测范围、探头与平台配置及数据输出方式，应依据样品、测量目的和制程需求确认。
产品特色
CMT-SR5000 12 英寸晶圆与大尺寸薄膜表面电阻测量应用
CMT-SR5000 适用于晶圆、薄膜、玻璃、太阳能及导电材料的表面电阻测量，可用于研发、制程监控与质量管理分析。实际导入前，请根据样品尺寸、材料结构、测量点位及分析需求确认。
01
支持 300 mm 晶圆与大尺寸样品
可用于 300 mm 晶圆测量；对于 210 × 1210 mm 薄膜、玻璃等大尺寸样品的表面电阻检测，也可根据应用需求评估。
02
多种测量单位显示
测量结果可显示为 ohm、ohm/sq、ohm·cm 与 S，便于不同材料及制程条件下的数据判读。
03
独立操作或电脑软件控制
可根据现场工作流程选择独立操作，或使用电脑软件控制测量、整理数据并进行后续分析。
04
2D / 3D 分析图
分析软件可根据测量数据生成 2D 等高线图或 3D 图形，帮助查看晶圆、薄膜或玻璃样品的电性分布与均匀性。
05
高精度 JANDEL 探针头
JANDEL 探针头是接触式表面电阻与片电阻测量的重要配置。实际测量条件应根据样品表面状态及检测流程确认。
选型提示：如需测量 12 英寸晶圆片电阻，或分析大尺寸薄膜、玻璃表面电阻分布，请先确认样品尺寸、预期电阻范围、测量点位、2D / 3D Mapping 需求、数据输出方式及质量管理流程。
产品规格
CMT-SR5000 表面电阻测量规格
以下规格可作为 300 mm 晶圆、薄膜、玻璃与太阳能材料表面电阻测量的初步参考。实际测量条件请根据样品尺寸、材料结构、电阻范围、测量点位及质量管理流程确认。
| 规格项目 | CMT-SR5000 规格说明 |
|---|---|
| 测量范围 | 1 mΩ/sq–2 MΩ/sq |
| 操作方式 | 操作人员将样品放置于测试平台后按下测量键，系统会自动调整量程并显示读数、小数点和倍率。 |
| JANDEL 四点探针 | 采用 JANDEL 设计的快速安装接头/转换器探头，无需特殊工具或对准治具，可快速完成安装。整机标准配置 JANDEL 探头。 |
| 测量数据显示 | 测量数据可直接显示在设备主机面板上。 |
| 测量速度 | 约 2 ± 1 秒/点 |
| 内部元件精度 | ±0.5%（高精度电阻） |
| 维护与服务 | 采用微处理器技术，电子元件安装在便于更换的印刷电路板上，便于后续维护和服务评估。 |
备注：以上信息仅供产品规格参考。实际测量表现仍取决于样品表面状态、接触条件、探针配置、测量环境及数据分析需求。