Delcom 非接触式方块电阻测量系统
Delcom 非接触式表面电阻测量系统
支点科技代理美国 Delcom 非接触式方块电阻测量设备,适用于导电薄膜、ITO/TCO、镀膜玻璃和晶圆等材料的电性检测,可用于材料研发、来料检验、制程品管及卷对卷制程监控。
采用非接触式测量,可降低探针接触造成刮伤的风险,适合表面敏感或需要保护导电层的样品。提供上下探头式和单侧探头式设计,涵盖台式、手持/模块型及在线测量系统,可满足实验室、现场检测和设备整合需求。
台式 RD/RS 系列比较
RD 采用上下探头式;RS 采用单侧探头式。
RD 系列的传感器间隙和测量区域可按配置选择;RS 系列需固定传感器与导电层之间的距离。
S3、20J3、30C9 手持/模块型比较
可搭配选配平台进行台式测试,或根据探头形式规划设备端整合。以下为产品页面所列配置。
Ø 表示圆形测量区域的直径;传感器间距不等于最大样品厚度。S3 可从单侧接近导电层;20J3、30C9 的样品需放在双面传感器之间。其他测量区域、间距和量程可按需求讨论配置。
如何选择方块电阻量程?
常规量程包括:
×10:5~100,000 Ω/□
×1:0.5~10,000 Ω/□
÷10:0.05~1,000 Ω/□
÷100:0.005~100 Ω/□。
传感器通常选配两个相邻量程,应根据样品的预估阻值选择;上述范围并非由单一配置涵盖。
卷对卷与连续制程监控
在线多点测量系统
沿材料宽度方向配置多组传感器,监控不同位置的方块电阻和横向均匀性。传感器数量、位置和支架长度按产线配置。
可移动式在线测量系统
传感器位置可沿材料宽度方向移动调整,以适配不同幅宽和测点配置。导入时需确认移动机构、材料稳定性和数据采集方式。
方块电阻、电阻率与厚度换算
方块电阻以 Ω/□ 表示;电阻率以 Ω·cm 表示。如需通过方块电阻估算电阻率或薄膜厚度,需已知厚度或材料电阻率,并确认材料结构符合换算条件。
多层导电材料不能直接按单一导电层计算。
询价前,请提供以下资料
- 样品材质、长宽、厚度,以及导电层的位置和层数。
- 预估方块电阻范围、测点大小,以及单点或多点测量需求。
- 台式测试、现场巡检或在线监控;在线应用请同时提供材料幅宽、产线速度和安装空间。
支点科技可协助评估传感器、平台、接口模块和软件配置。对于 SiC、特殊镀膜、多层导电结构或导电层位于绝缘层下方的样品,建议先用实际样品确认测量表现。