Delcom RS300｜桌上型非接触式表面电阻测量仪

显示器与平板显示器（FPD）

• 平面显示器、触控面板、透明导电氧化物（TCO）及透明导电材料（ITO、TCM）
• LED 与 OLED 显示器、碳纳米管（CNT）、石墨烯、银纳米线及金属网格

太阳能光伏（PV）与半导体

• 薄膜太阳能（非晶硅、CIGS、CdTe）、晶硅及 III-V 族太阳能电池
• 硅晶圆与晶锭/晶块特性检测，以及晶圆级和面板级封装（WLP、PLP、FOPLP）

建筑玻璃、智能玻璃与精密光学

• Low-E 软镀膜和硬镀膜玻璃；电致、热致和光致变色玻璃、PDLC、SPD 与可切换镜面
• 汽车及航空航天玻璃、后视镜、精密光学和光学镀膜

航空航天、国防与能源

• 座舱罩、航空航天光学、低可见度材料、航天器热控材料及太阳帆
• 电池、电池组、储能与燃料电池组件

导电印刷、柔性电子与屏蔽

• 印刷电子、导电油墨、柔性电路与 PCB、天线、薄膜加热器和 RFID
• EMI/RF 屏蔽、金属化电容器箔、薄膜加热、金属化薄膜及卷对卷（R2R）涂布

其他材料与应用：微波吸收材料、阻隔膜、装饰膜/纸、金属化标签、纺织品、纤维、碳纤维、纳米线、网格、粉末、镀膜玻璃/聚合物、导电涂料、金属及有机导体、玻璃、晶圆、LED、抗静电薄膜和高性能涂层。

响应速度与显示

• Delcom 每 30 ms 对样品测量一次。
• 硬件和软件对读数进行平均处理，每 240 ms 显示 8 个平均值。

准确度与校准

• 仪表按美国国家标准与技术研究院（NIST）标准校准，准确度高于 99.9%。
• 使用者可在一分钟内完成校准设置。

分辨率与线性

• 四个量程范围均可显示所有有效位数。
• Delcom 保证被测材料片电阻值与实际值的偏差不超过 3%。
• 下图为 Delcom 仪表对 10 个 NIST、VLSI 和 MSA 标准的测试结果。

重复性与温度补偿

• 样品放置和环境温度等条件不变时，读数重复性可达 99.9%。
• 涡流仪表的基准读数会随环境温度变化而漂移。Delcom 桌上型传感器经过补偿，每摄氏度、每小时的漂移不超过总分辨率的 0.04%。

测量间距对读数的影响

导电层在传感器间隙中的高度会影响读数。可通过使用平台、配置距离探测器自动补偿，或使用已知高度的材料校准仪器来处理。

桌面软件

• 适用于 Windows XP 或更高版本的 PC 应用程序
• 可由用户自定义的 Python 库

可选测量单位

• 表面电阻（ohm/sq）
• 表面电导率（Siemens/Square）
• 体积电阻率（ohm-cm）
• 厚度（μm）
• 用户定义发射率，范围 0–1

针对常见需求优化的软件模式

• 测试样品并读取数据
• 扫描样品并生成分布图
• 导出数据并绘图，验证表面均匀性
• 设置上下限以判断样品是否合格

数据记录、分析与导出

• 通过 CSV 或 Microsoft Excel 记录并导出数据
• 读取、记录、手动扫描、判定通过/失败并导出 CSV 文件，保存数据供后续分析

多传感器配置

• 为多点测量配置多个探头
• 为多个阻抗范围配置多个探头

用户可调性能参数

• 使用标准片可在一分钟内完成校准
• 设置垂直偏移补偿、零点（tare）偏移和增益偏移
• 设置通过/失败阈值与警报
• 设置温度补偿系数

自动功能

• 自动归零
• 自动检测样品
• 自动记录测量数据

扩展传感器量程

Delcom 传感器出货时包含以下相邻量程中的任意两个。可另购传感器，覆盖 Delcom 传感器的完整测量范围：

• ×10：5–100,000 ohm/sq
• ×1：0.5–10,000 ohm/sq
• ÷10：0.05–1,000 ohm/sq
• ÷100：0.005–100 ohm/sq

使用 Python 库构建自定义界面

Delcom 提供 Python 库，可由客户自行监控和控制传感器，并构建自定义界面。

定制传感器间距与测量尺寸

仪器可定制不同的测量间距与测量尺寸组合。通常，所需间距越大，传感器的测量尺寸也越大。Delcom 可根据传感器尺寸与间距要求提供合适组合。客户通常希望在满足由最厚样品决定的间距要求时，尽可能缩小传感器尺寸。