AiT CMT-SR1000N 4英寸晶圆半自动四探针测量系统(100 mm Φ)
支点科技代理的 AiT 4 英寸晶圆四探针测量系统,可搭配英国 JANDEL 高稳定性探头,充分发挥 CMT-SR1000N 在表面电阻(Ω/□)和体积电阻率(Ω·cm)测量方面的高精度性能。多功能 Mapping 软件可辅助分析电阻均匀性,也可根据电阻计算厚度数据,为测量与分析提供更多信息。
・适用于晶圆、薄膜、太阳能等行业的表面电阻测量
・表面电阻测量单位显示(Ω、Ω/□、Ω·cm 和 S)
・操作简便(自动下压,在测量中心进行单点测量)
・采用高精度 JANDEL 探针头
・测量范围
1 mΩ/□~2 MΩ/□
・操作方式
操作者只需将样品放置在测试平台上并按下测量键。量程会自动调整,并显示正确读数,包括小数点和倍率。
・JANDEL 四点探针探头
采用 JANDEL 设计的快速安装接头/转换器探头,无需特殊工具或对准设备,几分钟内即可完成安装;整机标准配置 JANDEL 探头。
・测量数据的显示
测量数据直接显示在设备 LCD 面板上。
・测量速度
约 2±1 秒/点
・内部元件精度
±0.5%(高精度电阻)
・维护与服务
采用先进的微处理器技术,实现稳定运行和高可靠性。所有电子元件均安装在便于更换的印刷电路板上。
・软件数据下载
USB 接口,支持数据存储/读取(Windows 版本)