Delcom 桌上型非接触式表面电阻测量系统｜RD／RS 系列
Delcom 桌上型非接触式表面电阻测量系统｜RD／RS 系列选型
支點科技提供 Delcom 桌上型非接觸式表面電阻測量系統，适用于导电薄膜、ITO、TCO、晶圆、镀膜玻璃、镜面材料、厚材料和弧形材料的表面电阻、表面电导率、体积电阻率及薄层电性检测。可根据 RD／RS 传感器配置、200／300／450 mm 平台、样品厚度、导电层位置和预估 ohm/sq 范围评估合适机型。
平台与样品条件
样品厚度与导电层位置
如果样品是薄膜、晶圆、镀膜玻璃或片材，需先确认导电层位于表面、背面还是夹层结构中。RD 系列采用 C 型上下测量传感器，样品需放在上下传感器之间；RS 系列采用单侧传感器，更适合较厚或不易放入上下传感器之间的样品。
平台尺寸：200／300／450 mm
样品尺寸较小时可先评估 200 mm 平台；若样品接近 8 英寸、12 英寸或更大的片材，可根据样品外形、测量区域和平台承载需求评估 300 mm 或 450 mm 平台。
材料类型与有效测量深度
根据现有资料，RD 系列电阻有效测量深度约为 0–6 mm，样品厚度需小于 6 mm。RS 系列采用单侧传感器，有效测量深度约为 3 mm 以下，但样品本体厚度不受 3 mm 限制。仍需根据材料结构与导电层位置确认。
如何初步选择 RD／RS 桌上型系列？
常见样品与检测建议
导电薄膜与 ITO／TCO
适用于透明导电膜、ITO、TCO、镀膜玻璃及相关薄膜材料的非接触式片电阻检测，可用于研发、来料检验和工艺比对。
晶圆与半导体材料
可根据晶圆尺寸、材料结构、导电层位置和预估电阻范围评估桌上型测量方案，实际选型仍需依据样品条件确认。
玻璃、镜面与厚材料
若样品为镀膜玻璃、镜面材料、厚基材或特殊结构材料，需同时确认厚度、表面状态、导电层位置和测量距离。
研发测试与来料品管
适用于研发建立材料数据、供应商来料验收、批次比对和客户验收前确认。如需在线监控，建议另行评估 Delcom 在线系统。
桌上型 Delcom 非接触式表面电阻测量设备适用于固定位置的研发测试、品管检测和来料验收。选型前建议提供样品尺寸、厚度、材料结构、导电层位置、预估 ohm/sq 范围、是否需要 Mapping，以及测量速度或数据输出需求。如需了解片电阻、ohm/sq 与电阻率的关系，可继续阅读 什么是表面电阻 Rs（片电阻） 与 电阻率与厚度之间的关系计算。实际选型仍需依据样品条件、检测目的和品管流程确认。
桌上型非接触式表面电阻测量常见问题
RD 系列和 RS 系列有什么区别？
RD 系列采用 C 型上下测量传感器，测量时样品需放在上下传感器之间。根据现有资料，RD 系列电阻有效测量深度约为 0–6 mm，样品厚度需小于 6 mm。
RS 系列采用单侧传感器，测量时无需像 RD 系列一样将样品夹在上下传感器之间。根据现有资料，RS 系列电阻有效测量深度约为 3 mm 以下，但样品本体厚度不受 3 mm 限制。实际仍需根据样品厚度、导电层位置、材料结构和预估 ohm/sq 范围确认。
如何选择 200／300／450 mm 平台？
可先根据样品尺寸、测量区域和平台承载需求判断。小尺寸研发及品管样品可先考虑 200 mm；较大晶圆、玻璃或片材可评估 300 mm 或 450 mm。
询价前需要提供哪些资料？
建议提供样品材质、尺寸、厚度、导电层位置、预估表面电阻范围、是否需要 Mapping、数据输出需求，以及检测目的或客户验收条件。
需要协助选择 RD／RS 桌上型非接触式表面电阻测量设备？
提供样品尺寸、厚度、材料结构、导电层位置和预估 ohm/sq 范围，支点科技可协助评估 RD200、RS200、RD300、RS300、RD450 或 RS450 等桌上型方案。
联系支点科技获取选型建议
RD200感测器
- 提供窄間距版本，適合量測薄材料（像是矽晶圓、碳化矽晶圓、ITO、TCO等）或寬間距版本，適合厚/弧形材料（像是玻璃、鏡子等）
- 雙面感測器，搭配 200mm x 200mm 平台
- 非接觸式量測表面電阻、表面導電率、體積電阻率、厚度和發射率
- 量測範圍選項從 0.005 ohm/sq到 100,000 ohm/sq
- 可拆卸探頭 – 隨時增加額外的感測器、量測範圍和平台
- 透過簡單的一鍵操作、Delcom 軟體、Python 函式庫或 MODBUS/TCP 介面進行操作
- 单面感测器嵌入 200mm x 200mm平台中 – 非常适合厚或弧形材料
- 非接触式量测表面电阻、表面导电率、体积电阻率、厚度和发射率
- 量测范围选项从 0.005 ohm/sq 到 100,000 ohm/sq
- 可拆卸探头 – 可随时增加额外的感测器、量测范围和平台
- 介面透过简单的一键操作、Delcom 软体、Python 函式库或 MODBUS/TCP 进行操作
Delcom RD300 桌上型非接触式表面电阻测量仪采用双面传感器与 300 × 300 mm 平台。可选择窄间距配置测量晶圆、ITO、TCO 等薄材料，或选择宽间距配置测量玻璃、镜面等厚材料和弧形材料。
- 非接触测量表面电阻、表面电导率、体积电阻率、厚度及发射率
- 可选量程为 0.005–100,000 ohm/sq
- 探头可拆卸，可随时增加传感器、量程和平台
- 支持一键操作、Delcom 软件、Python 库或 MODBUS/TCP
Delcom RS300 桌上型非接触式表面电阻测量仪采用嵌入 300 × 300 mm 平台的单面传感器，适用于厚材料或弧形材料。
- 非接触测量表面电阻、表面电导率、体积电阻率、厚度和发射率
- 可选量程为 0.005–100,000 ohm/sq
- 探头可拆卸，并可随时增加传感器、量程和平台
- 支持一键操作、Delcom 软件、Python 库或 MODBUS/TCP
Delcom RD450 是桌上型非接触式表面电阻测量设备，采用双面传感器配置，搭配 450 × 450 mm 平台，可用于较大尺寸薄膜、玻璃、镀膜材料、太阳能材料、ITO、TCO、镜面材料及相关导电层材料的表面电阻、表面电导率、体积电阻率、厚度和发射率测量。实际选型需根据样品尺寸、厚度、导电层位置、表面状态、曲率、预估 ohm/sq 范围及品控流程确认。
- Delcom RS450 是桌上型非接触式表面电阻测量设备，采用单面传感器嵌入 450 × 450 mm 平台设计，可用于较大尺寸厚材料、弧形材料、玻璃、镜面、Low-E 镀膜玻璃、太阳能材料及相关导电层材料的表面电阻、表面电导率、体积电阻率、厚度和发射率测量。实际选型需根据样品尺寸、厚度、曲率、导电层位置、表面状态、预估 ohm/sq 范围及品控流程确认。