什么是表面电阻Rs(SHEET RESISTANCE)

表面電阻(SHEET RESISTANCE)

許多的產業會應用到片材, 晶圓, 面板, 金屬板或金屬鍍膜導電材料。
對於這些應用來說, 待測物整體的電阻值或是電阻率是次要的。
其最重要的是：
1. 量測材料縱軸(深度/Z軸)的阻抗。
對使用者而言, 其重點在於待測物上的某一點電阻率而非整體的阻抗。
2. 片狀材料的阻抗, 無論何種形狀也不論它的尺寸, 都取決於材料的厚度和電阻率之函數所推算出來, 而非材料的面積。

對於這類片狀材料的量測, 表面電阻Rs(SHEET RESISTANCE)這個量測單位就被創造出來了。
表面電阻的數值在於它是材料電性的數據，與xy尺寸無關。