表面电阻（Ω/□）与体积电阻率（Ω·cm）的关系
表面电阻与体积电阻率的关系
表面电阻与体积电阻率的关系
许多行业会用到片材、晶圆、面板、金属板或金属镀膜等导电材料。对于这类应用，待测物整体的电阻值或电阻率通常不是首要关注点。
更重要的是：
测量材料纵向（深度／Z 轴方向）的电阻。
对使用者而言，重点是待测物某个位置的电阻特性，而不是整体阻抗。
片状材料的电阻，无论形状或尺寸如何，都可依据材料厚度与电阻率之间的关系计算，而不是依据材料面积计算。
为了测量这类片状材料，人们采用了表面电阻（片电阻，Rs／Sheet Resistance）这一测量单位。表面电阻是材料的电性参数，与 XY 平面尺寸无关。
表面电阻（Rs）等于电阻率（ρ）除以材料厚度（t）：
Rs = ρ / t