表面电阻与电阻率测量：涡电流与四点探针比较

1. 非破坏性测量：无需探针压接，可减少针痕对样品表面的损伤。

2. 可隔着绝缘层测量：样品表面有绝缘层时，仍可评估其下方导电层。

3. 可测量移动中的样品：可应用于生产线上的即时测量。

4. 即时取得数据：缩短测量所需时间，便于快速判断。

5. 减少探针耗材：非接触测量可降低四点探针探头的耗材成本。

1. 需要依材料校准：测量前应依据材料特性进行适当校准，以获得合适的测量准确度。

2. 保持探头距离稳定：稳定的探头间距有助于取得可重复的测量结果。

3. 探头需匹配测量范围：不同测量范围可能需要搭配不同探头，才能发挥适当性能。

4. 测量区域较大：相较四点探针，涡电流方法的测量面积可能较大，选择前应确认是否符合样品与检测需求。