薄膜铁电量测系统 FEMS系列

FEMS系列薄膜鐵電量測系統是基於CPS系列低溫真空探針台結合美國Rdiant/德國aixACCT鐵電分析儀設計而成, 是一款於常溫或高低溫條件下分析鐵電薄膜電學性能綜合量測系統。該系統可達到-160℃~400℃, 空氣和真空條件下量測鐵電薄膜材料的遲滯曲線(Hysteresis), 疲勞測試(Fatigue), 漏電流測試(Leakage Current)等功能, 廣泛用於各研究領域, 是鐵電薄膜材料的最佳量測系統
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